制氮設備以空氣為原料，利用物理的方法，將其中的氧和氮分離而獲得。深冷空分制氮是一種傳統的制氮方法，已有近幾十年的歷史。它是以空氣為原料，經過壓縮、凈化，再利用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點不同在1大氣壓下，前者的沸點為-183℃，后者的為-196℃，通過液空的精餾，使它們分離來獲得氮氣。深冷空分制氮裝置宜于大規模工業制氮，而中、小規模制氮就顯得不經濟。
制氮設備以空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱PSA制氮。此法是七十年代迅速發展起來的一種新的制氮技術。與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡單、自動化程度高、產氣快15～30分鐘、能耗低，產品純度可在較大范圍內根據用戶需要進行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強